在部分热场中使用碳化硅涂层石墨部件代替纯石墨部件

  材料致密，无针孔、微裂纹缺陷

  适用于单晶硅拉晶炉、硅烷流化床法(FBR)等设备的热场

  制备工艺根据产品需求定制

  可提升热场高温强度、抗热腐蚀、延长热场寿命