Product Center
产品中心
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GaN外延设备石墨部件
产品特点
涂层厚度均匀,极差<10um
金属杂质含量<2ppm
涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长
行星盘一致性好,均温性好,盘间温差<2℃
应用领域
GaN功率器件
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产品优势
性能优异,质量稳定
定制化开发,交货期短
快速的售后服务响应