GaN外延设备石墨部件

产品特点

  涂层厚度均匀,极差<10um

  金属杂质含量<2ppm

  涂层致密,无针孔,耐刻蚀,寿命长

  行星盘一致性好,均温性好,盘间温差<2℃

应用领域

  GaN功率器件

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产品优势

性能优异,质量稳定

定制化开发,交货期短

快速的售后服务响应