全碳化硅部件(Solid SiC、烧结碳化硅)

产品特点

  纯度高,金属杂质含量<2ppm

  材料致密,无针孔、微裂纹缺陷

  适用于半导体光刻、氧化扩散、刻蚀等多种设备

  制备工艺根据产品需求定制

  稳定性好,使用寿命长 

应用领域

  半导体芯片制造 

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产品优势

性能优异,质量稳定

定制化开发,交货期短

快速的售后服务响应