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SiC外延设备石墨部件

产品特点

  涂层厚度均匀，极差＜10um

  金属杂质含量<2ppm 本征浓度＜2E+14

  涂层致密，无针孔，耐刻蚀，寿命长

  外延产品缺陷少、电阻和浓度均匀性好

应用领域

  SiC功率器件

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6寸环
6寸盘
SideWall
半月隔热罩
隔热屏
进气连接件1
进气连接件2
气浮气嘴
气浮外接气嘴
上半月
上游防护片
上游隔热罩
石墨出气筒
托盘基座
下半月
下游防护片
下游隔热罩
氩气吹扫气嘴
氩气吹扫外接气嘴
中央防护片
主隔热罩
6寸环
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气浮气嘴
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氩气吹扫气嘴
氩气吹扫外接气嘴
中央防护片
主隔热罩

产品优势

性能优异，质量稳定

定制化开发，交货期短

快速的售后服务响应

Tel：0512-65115595

Email：info@hnkxtech.cn

苏州地址：江苏省苏州市苏州工业园区丰和路1号

益阳地址：湖南省益阳市高新区东部产业园E区E1栋

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