Si外延设备石墨基座

产品特点

  涂层厚度均匀,极差<10um

  金属杂质含量<2ppm,本征电阻高

  涂层致密,无针孔,粗糙度可调控

  耐刻蚀,寿命长

应用领域

  IC集成电路

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产品优势

性能优异,质量稳定

定制化开发,交货期短

快速的售后服务响应